Full Auto Wafer Plating system /SKY LANE

モデル名称　〇UIWSLｰ・・・

ﾁｬﾝﾊﾞｰ数　〇〇4～8ﾁｬﾝﾊﾞｰ（最大14ﾁｬﾝﾊﾞｰ）

生産枚数　〇〇約3~9,000枚／月

対象ウエハー　φ75mm～φ200mm　（3インチ~8インチ）

対象材質　〇〇シリコン、GaAs、GaN   S-Glass  
　　　　　　　アルミ他

めっき仕様　〇Cu（Cu pillar、 Cu post RDL）Au (Bump､Via）
〇〇〇〇〇〇〇Ni　Sn　ほか

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装置コンセプト

★全自動ウエハーめっきシステム
Full Auto Chamber Plating system/SKY LANE

★スカラロボット搭載により安定搬送、高品質めっき対応可能
〇ダブルハンド対応（Dry or Wet自動選択）

★オリジナルフェイスダウンチャンバーにより
〇高品質めっき対応可能

★省スペースとコンパクトな設計コンセプト
〇省エネルギーで、メンテナンスフリー

★各種、安全装置、インターロック機能付き

★24時間ビデオ監視(レコーダー）システム付き
for type Semi Standard

Full Auto 8 Chamber Plating  System （SKY LANE-Cu）

2018 New model

Full Auto 2 Chamber Plating  System （SKY LANE-Ni or Au or Sn）

2020 New model

 

Full Auto 6 Chamber Plating  System （SKY LANE- Au ）

2020 New model